该产品为日本福乐品牌高洁净小型无油真空泵，采用无油设计，适配 240V 电压场景。内置 HEPA 滤网，具备低噪音与防静电特性，适用于实验室晶圆处理及洁净流体管路的真空保护。

一、产品特点

高洁净小型无油真空泵为日本福乐品牌针对国内电压场景优化的洁净真空设备，采用无油隔膜结构，适配无尘室与半导体制造等洁净环境。设备内置进出 HEPA 滤网，可捕捉精度不超过 0.3 微米的颗粒，过滤效率较高，减少杂质进入系统的可能。滤网窗设计便于观察滤网使用状态，及时更换滤网以维持过滤性能。机身采用尼龙材质，具备静电保护功能，可降低静电对精密元件的影响，适配高洁净操作场景。

二、核心性能参数

该型号流量为 2.5 升 / 分钟，压力可达 - 300mmHg（-40kPa），支持最高 6 英寸晶圆的处理需求。功率需求为 220-240VAC，适配国内常规供电场景，消耗功率 5.0W，运行能耗较低。设备尺寸为 137×88×85 毫米，重量约 800 克，结构紧凑轻便，便于在实验室或小型洁净室内布置。产品支持连续工作，预期使用寿命超过 8760 小时，可满足长期稳定运行的要求。

三、应用行业场景

该产品多用于国内半导体实验室、高校科研项目、电子元件组装、小型洁净管路系统等场景。在高校科研实验室中，可用于小型晶圆、样品的真空处理操作，无油设计保障了实验环境的洁净度；在电子元件组装环节，可配合真空吸笔完成小型元器件的拾取与安装；在小型洁净管路系统中，可提供稳定的负压动力，同时通过 HEPA 滤网过滤管路中的杂质，保障流体洁净。

四、产品优势说明

高洁净小型无油真空泵采用无油隔膜结构，无需额外维护润滑油，降低了长期使用的维护成本与污染风险。适配国内 220-240VAC 供电场景，无需额外配置变压器，安装使用便捷。设备的低噪音设计，可减少对实验室或洁净室环境的干扰。静电保护设计提升了精密元件操作的安全性，紧凑轻便的结构也便于设备的移动与布局调整，为国内洁净场景提供稳定的真空支持。