该产品为日本福乐品牌洁净室用无油隔膜真空泵，采用无油设计，适配无尘室场景使用。内置 HEPA 滤网，可捕捉微小颗粒，搭配防静电结构，适用于实验室小尺寸晶圆处理及洁净管路保护场景。

一、产品特点

洁净室用无油隔膜真空泵为日本福乐品牌专为洁净环境设计的小型真空设备，采用无油隔膜结构，运行过程中不会产生油污污染，适配无尘室、半导体制造等对洁净度有要求的场景。产品内置进出 HEPA 滤网，可捕捉精度不超过 0.3 微米的颗粒，过滤效率较高，能有效降低杂质进入管路的风险。设备配备滤网窗，可直观观察滤网状态，便于及时更换，保障过滤效果。机身采用尼龙材质，具备静电保护功能，可减少静电对晶圆等精密元件的影响。

二、核心性能参数

该型号流量为 2.5 升 / 分钟，压力可达 - 300mmHg（-40kPa），适配小尺寸晶圆处理场景，最高可支持 6 英寸晶圆使用。功率需求为 100-120VAC，消耗功率 5.0W，运行能耗较低。设备尺寸为 137×88×85 毫米，重量约 800 克，整体结构紧凑，便于在空间有限的洁净室内安装摆放。产品支持连续工作，预期使用寿命超过 8760 小时，可满足长期稳定运行的需求。

三、应用行业场景

该产品广泛应用于半导体实验室、电子元件制造、精密仪器分析、洁净室流体输送等场景。在半导体实验室中，可用于小尺寸晶圆的真空搬运与处理，无油设计避免了油污对晶圆表面的污染；在电子元件制造环节，可配合真空吸笔完成小型芯片的拾取与放置操作；在洁净室流体输送系统中，可作为小型真空源，为管路提供稳定的负压环境，同时通过 HEPA 滤网保障流体洁净度。

四、产品优势说明

洁净室用无油隔膜真空泵的低噪音设计，可减少对洁净室环境的干扰，适配对噪音有要求的实验室场景。无油隔膜结构无需额外添加润滑油，降低了维护成本与污染风险。设备的静电保护设计，可减少静电放电对精密元件的损伤，提升操作安全性。整体结构轻便紧凑，便于移动与安装，可灵活适配不同的工作布局，为洁净室环境提供稳定可靠的真空支持。