该产品为日本福乐品牌工业级高洁净无油真空泵，采用无油设计，适配 240V 电压场景。内置 HEPA 滤网，真空度较高，具备防静电与低噪音特性，适用于工业级晶圆处理及高压洁净流体管路场景。

一、产品特点工业级高洁净无油真空泵为日本福乐品牌针对国内工业场景优化的高真空设备，采用无油隔膜结构，适配半导体制造、工业洁净管路等高洁净工业环境。设备内置进出 HEPA 滤网，可捕捉精度不超过 0.3 微米的颗粒，过滤效率较高，减少杂质进入系统的可能。滤网窗设计便于观察滤网使用状态，及时更换滤网以维持过滤性能。机身采用尼龙材质，具备静电保护功能，可降低静电对精密元件的影响，适配工业级洁净操作场景。二、核心性能参数该型号流量为 2.5 升 / 分钟，压力可达 - 600mmHg（-80kPa），真空度较高，支持 8 英寸和 12 英寸大尺寸晶圆的处理需求。功率需求为 220-240VAC，适配国内常规供电场景，消耗功率 10.0W，可满足工业级运行的动力需求。设备尺寸为 137×88×133 毫米，重量约 1250 克，结构稳定，适配工业场景的长期使用。产品支持连续工作，预期使用寿命超过 8760 小时，可满足工业生产线的持续运行要求。三、应用行业场景该产品多用于国内半导体晶圆制造、光伏硅片生产线、大型电子元件组装、工业洁净流体输送系统等场景。在国内半导体晶圆制造产线中，可用于大尺寸晶圆的真空搬运与处理，适配国内供电场景，无需额外配置变压器；在光伏硅片生产线中，可配合真空吸笔完成硅片的自动化拾取与放置；在工业洁净流体输送系统中，可提供稳定的高负压动力，同时通过 HEPA 滤网过滤杂质，保障流体洁净度。四、产品优势说明工业级高洁净无油真空泵适配国内 220-240VAC 供电场景，安装使用便捷，无需额外配置变压器。高真空性能可满足工业级大尺寸晶圆处理的负压需求，提升生产稳定性。无油隔膜结构避免了油污污染，适配工业级洁净生产环境。设备的静电保护设计，可减少静电对精密元件的损伤，提升生产安全性。滤网窗设计便于维护人员及时更换滤网，降低设备维护难度，为国内工业级洁净场景提供稳定可靠的真空支持。