RF-400-01 是TORAY日本东丽，氧化锆式氧气浓度计，凭借专项优化的传感器、高耐久性保护机构、紧凑易用的设计与合规输出能力，成为电子行业及工业设备集成场景中可靠的氧浓度监测方案。

TORAY东丽-氧化锆式氧气浓度计-RF-400-01

TORAY日本东丽，氧化锆式氧气浓度计

TORAY日本东丽，氧化锆式氧气浓度计

一、产品总结

RF-400-01 是东丽专为氮气回流装置开发的专用氧浓度计，凭借专项优化的传感器、高耐久性保护机构、紧凑易用的设计与合规输出能力，成为电子行业及工业设备集成场景中可靠的氧浓度监测方案。

二、核心特点

• 氮气回流装置专项优化：专为氮气回流工艺场景设计，适配高浓度惰性保护气环境，满足电子行业的工艺监测需求。

• 高精度与高耐久性：搭载东丽自研小型氧化锆传感器，可长期稳定提供高精度测量结果；配备传感器保护机构，相比传统产品提升了耐用性。

• 多功能输出与合规设计：支持模拟输出、串行通信输出，同时通过 CE 认证，满足工业设备集成的信号与合规要求。

• 紧凑易用设计：结构紧凑、操作简便，便于集成到氮气回流装置及其他多种工业设备中。

三、主要用途

电子行业氮气回流装置：半导体、电子元件生产过程中氮气回流工艺的氧浓度监测与控制。

• 工业设备集成：各类需要氧浓度监测的工业装置，尤其适配含惰性保护气的高浓度环境。

• 工艺气体控制：化工、制造行业中保护气体、工艺气体的氧含量在线监测，保障产品质量与工艺安稳运行。










分类	项目	规格参数
设备规格	外形	台式 / 面板安装型
	显示方式	数字 4 位显示（浓度显示）
	测量范围	10ppm～100vol% O₂※0～10ppm 量程以下不作性能保证
	测量量程	0-1/10/100/1000/10000ppm（1%）/10%/100%10⁻²⁰～10⁰atm※可选择 0～10000ppm 或 0-1% 量程
	采样方式	内置泵连续吸引式
	供给气体流量	1000～2000mL/min
	传感器部气体流量	60±10mL/min
	气体接口	INLET（样气入口）Rc1/4BYPASS OUT（旁路出口）Rc1/4OUTLET（样气出口）Rc1/4
	对比气体	大气
	重量	约 6.5kg
	涂装颜色	孟塞尔 N3 哑光黑色
性能特性	重复性	1%（10000ppm）≤测量气体≤100%：±1% FS10ppm≤测量气体＜1%（10000ppm）：±2% FS（0～10ppm 显示量程以下不作保证）
	空气点稳定性	±1%FS/24h
	预热时间	6 分钟以内
工程规格	测量值输出	外部输出：4-20mA、RS-232C
	浓度报警输出	LED 显示（上下限），2a 独立接点输出接点容量：AC30V/DC30V、1A
	自诊断功能	预热异常、热电偶异常、机内温度异常、CPU 异常、炉内温度异常、不对称电位异常、传感器电阻值异常、AIR 点校准异常、SPAN 点校准异常
样气条件	气体成分	不含可燃成分、卤素、硅类、腐蚀性成分及水滴
	压力	29.4kPa 以下加压
	流量	1000～2000mL/min
	温度	0～50℃
	湿度	露点低于环境温度
电源与安装	电源规格	AC100V～240V，电源容量 200VA，功耗 50W
	安装条件	安装场所：室内、非防爆区域环境温度：0～50℃环境湿度：20～85% RH（无结露）环境介质：不含可燃成分、卤素、硅类及腐蚀性成分
可选配件	配件	活性炭过滤器、棉过滤器、Si 过滤器