LD-600/SD是TORAY日本东丽，氧化锆式多点氧气浓度计，搭载自研小型氧化锆传感器，支持从10ppm未满到1000ppm以上的宽量程测量，适配负压至大气压环境，专为对高速数据交互有需求的自动化设备设计。

TORAY东丽-氧化锆式多点氧气浓度计-MS-500/MS-510/SD

TORAY日本东丽，氧化锆式多点氧气浓度计

TORAY日本东丽，氧化锆式多点氧气浓度计

一、产品总结
东丽 MS-500/MS-510/SD 系列凭借宽量程测量、高耐久性、多点扩展能力与便捷集成特性，成为半导体、真空设备等行业的理想氧浓度监测方案，能为各类工业处理装置提供长期安稳、高精度的氧含量数据支持，保障生产工艺的稳定性与产品质量。
二、核心特点
宽量程高精度测量：覆盖 10ppm 以下、10ppm 以上至 1000ppm（0.1%）以上的多量程氧浓度检测，精度稳定，适配低浓度到常规浓度的不同需求。
高耐久性设计：传感器采用特殊涂层与内置保护机制，抗污染、抗轻微腐蚀，使用寿命优于传统型号，可长期安稳运行。
分体式扩展架构：传感器与转换器分离设计，可扩展至*多 8 个检测点位，实现多点位同步测量，适配多腔体设备场景。
便捷集成与操作：标配串行通信输出，适配 PLC 与上位机系统；操作界面简单，便于嵌入各类工业处理装置。
三、主要用途
半导体制造：多腔真空镀膜、溅射、刻蚀设备的多点氧浓度监控，保障工艺稳定性。
真空设备领域：各类真空炉、热处理设备的氧含量监测，防止氧化反应影响产品质量。
电子工业场景：惰性气氛保护设备、气体纯化装置的氧浓度检测，满足电子元件生产的环境要求。