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半导体行业设备备品备件

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日本福乐防静电晶圆处理手动镊子

日本福乐防静电晶圆处理手动镊子采用防静电材质制作，可安全夹取晶圆，适用于无尘室洁净环境，能减少静电影响，是晶圆处理工艺的配套工具。

产品型号：E100-150
厂商性质：代理商
更新时间：2026-04-21
访问量：57

联系电话：021-63333365

品牌	FLUORO/日本福乐	价格区间	面议
应用领域	环保,生物产业,石油,能源,制药/生物制药

日本福乐防静电晶圆处理手动镊子，是专为半导体、精密电子制造和洁净室环境设计的高精度夹持工具，广泛应用于晶圆搬运、芯片贴装、光学元件装配等对静电防护与无损操作有严苛要求的场景。产品以防静电、耐化学腐蚀、轻量化与模块化设计为核心优势，支持多种晶圆尺寸与操作模式，为半导体工艺提供稳定可靠的夹持保障。

1. 核心特性与技术优势

防损伤夹持设计：钳口贴合晶圆边缘轮廓，受力均匀，避免划伤、污染或静电损伤。
专业 ESD 防护：采用导电 PEEK / 传导性尼龙材质，电阻率控制在 10⁶–10⁹Ω，有效消除静电积累。
轻量化人体工学：整体重量轻、握持舒适，支持长时间单手操作，减少疲劳。
带锁防松脱结构：带锁款配备杠杆锁，可锁定钳口开度，防止搬运中晶圆松脱。
多尺寸全系列适配：覆盖 4 英寸、5 英寸、6 英寸、8 英寸至 12 英寸晶圆，含标准款、轻量化款、防静电款、带锁款多种选择。

2. 典型型号与应用场景

系列	特性定位	适用场景
M100 标准款	通用夹持	晶圆快速转移、常规芯片贴装、实验室样品操作
M110 轻量化款	便捷操作	高频次、长时间晶圆处理，降低手部疲劳
E100 防静电款	高等级 ESD 防护	静电敏感晶圆、芯片及精密元件夹持搬运
M100-L 带锁款	稳定防松脱	长距离晶圆搬运、复杂工况工艺、高洁净度环境操作

型号后缀说明：数字代表适配晶圆尺寸（如 100=4 英寸、150=6 英寸、200=8 英寸、300=12 英寸）；L 为带锁结构，E 为防静电导电材质，M110 为轻量化系列。

3. 日本福乐防静电晶圆处理手动镊子使用与维护要点

操作前用异丙醇清洁钳口，避免油污污染晶圆；防静电型号需配合接地工作台与防静电手环使用。
夹持时仅接触晶圆边缘非活性区，避免触碰电路面，防止划伤或污染。
带锁款操作时先锁定再搬运，放置后先解锁再取出，禁止强行掰动钳口。
日常存放于洁净干燥环境，定期检测钳口磨损与电阻率，老化部件及时更换。

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日本福乐防静电晶圆处理手动镊子采用防静电材质制作，可安全夹取晶圆，适用于无尘室洁净环境，能减少静电影响，是晶圆处理工艺的配套工具。

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