该 MRM 洁净级安全阀采用精密洗净工艺，低粉尘处理，适配半导体批量清洗管路超压保护。

产品型号：MRV-15F-XB-R1
厂商性质：代理商
更新时间：2026-04-17
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品牌	MRM	应用领域	环保,生物产业,石油,能源,制药/生物制药

一、产品核心特点

MRM 洁净级安全阀为日本 MRM 原厂 MRV 系列产品，公称通径 1/2"，适配半导体批量清洗等高洁净度制程场景。接流体部采用氟化乙烯树脂材质，具备优异的抗腐蚀性能，可适配多种酸碱及溶剂类介质。阀门采用可调式泄压结构，压力调节范围为 0~0.4MPa，适配洁净工况下的压力保护需求。采用高等级超低粉尘清理工艺，通过表面粗糙度精密加工、无油精密洗净与平面构造设计，大幅减少杂质产生与介质残留，维持流体高洁净度。采用 Flare 型洁净级接口，提升了管路连接的稳定性与洁净度，适配高洁净度制程场景。

二、应用行业场景

本款阀门广泛应用于半导体湿法批量清洗设备管路超压保护、电子化学品高纯度介质输送、制药行业洁净流体系统等场景。在半导体生产中，可用于晶圆批量清洗设备的药液管路，防止压力过高造成设备损坏或晶圆污染，维持制程高洁净度；在电子化学品行业，适配高纯度介质输送管路的超压保护，保障介质品质稳定；在制药行业，可用于洁净药液输送系统的管路超压保护，满足洁净流体处理要求。此外，也可用于实验室高洁净度流体装置、光伏高洁净制程设备的超压保护。

三、性能与参数说明

阀门公称通径 1/2"，采用 Flare 型洁净级接口，适配高洁净度工况。可调式泄压结构压力调节范围为 0~0.4MPa，调节精度稳定，可满足洁净工况下的压力保护需求。接流体部采用氟化树脂材质，长期使用不易腐蚀老化，适配多种腐蚀性介质。阀门经过严格的洁净度与耐压测试，洁净度处理等级高，满足半导体及制药行业的高要求；长期使用性能稳定，不易出现渗漏问题。

四、产品使用优势

MRM 洁净级安全阀凭借高等级超低粉尘处理、可调式泄压结构与洁净级接口，为高洁净度制程管路超压保护场景提供可靠的解决方案。洁净度处理工艺可维持流体高洁净度，避免介质污染；可调式设计可灵活适配不同系统的压力需求。阀门整体结构稳定，维护便捷，是半导体、制药及电子化学品高洁净度流体系统超压保护的实用选择。

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该 MRM 洁净级安全阀采用精密洗净工艺，低粉尘处理，适配半导体批量清洗管路超压保护。

一、产品核心特点

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