该 MRM 洁净逆止阀采用精密洗净工艺，无 O 型圈设计，低粉尘，适配半导体批量清洗管路防倒流。

产品型号：CV-15TF-SB
厂商性质：代理商
更新时间：2026-04-17
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品牌	MRM	应用领域	环保,生物产业,石油,能源,制药/生物制药

一、产品核心特点

MRM 洁净逆止阀为日本 MRM 原厂 CV 系列产品，公称通径 1/2"，适配半导体批量清洗等高洁净度制程场景。接流体部采用氟化乙烯树脂材质，具备优异的抗腐蚀性能，可适配多种酸碱及溶剂类介质。阀门采用无 O-ring 设计，避免密封圈污染介质，同时大幅降低杂质残留风险，洁净度处理等级高。采用高等级超低粉尘清理工艺，通过表面粗糙度精密加工、无油精密洗净处理，大幅减少杂质产生，维持流体高洁净度。启动压力约 5kPa，适配低压、低流量工况，同时支持多种接头连接方式，便于在复杂设备中集成使用。

二、应用行业场景

本款阀门广泛应用于半导体湿法批量清洗设备管路防倒流、电子化学品高纯度介质输送、制药行业洁净流体系统防倒流等场景。在半导体生产中，可用于晶圆批量清洗设备的药液管路防倒流，防止清洗液倒流造成设备污染，维持制程高洁净度；在电子化学品行业，适配高纯度介质输送管路防倒流，保障介质品质稳定；在制药行业，可用于洁净药液输送系统的管路防倒流，满足洁净流体处理要求。此外，也可用于实验室高洁净度流体装置、光伏高洁净制程设备的防倒流控制。

三、性能与参数说明

阀门公称通径 1/2"，适配 Φ12 管路，采用 SB 洁净级接头，适配高洁净度工况。无 O-ring 设计避免了密封圈污染介质，洁净度处理等级高，满足半导体及制药行业的高要求。启动压力约 5kPa，对系统压力要求低，可在低压工况下稳定工作。接流体部采用氟化树脂材质，长期使用不易腐蚀老化，适配多种腐蚀性介质。产品经过严格的洁净度与密封测试，长期使用性能稳定，不易出现渗漏问题，适配高洁净度防倒流工况。

四、产品使用优势

MRM 洁净逆止阀凭借高等级超低粉尘处理、无 O-ring 设计与 SB 洁净级接头，为高洁净度制程防倒流场景提供可靠的解决方案。洁净度处理工艺可维持流体高洁净度，避免介质污染；低启动压力适配低压工况，减少系统能耗。阀门整体结构稳定，维护便捷，是半导体、制药及电子化学品高洁净度流体系统防倒流控制的实用选择。

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该 MRM 洁净逆止阀采用精密洗净工艺，无 O 型圈设计，低粉尘，适配半导体批量清洗管路防倒流。

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