半导体药液在线浓度监测：SC1、SC2、SPM 选型前需要确认什么？

在半导体晶圆制造过程中，清洗和湿法处理工序需要使用多种化学药液。随着生产持续进行，药液中的有效成分浓度可能发生变化。如果浓度管理不够及时，可能影响清洗效果、工艺稳定性以及药液使用效率。

SC1、SC2、SPM 是半导体湿法工艺中常见的药液类型。对于需要长期运行的生产线来说，如何掌握药液浓度变化，是现场工艺管理中值得关注的问题。

在线浓度计能够对药液进行连续监测，为生产现场提供浓度数据。不过，不同药液的组成和测量条件并不相同，设备选型不能只看仪器型号，还需要结合实际工艺进行确认。

一、SC1、SC2、SPM 分别是什么药液？

在半导体湿法清洗工艺中，不同药液承担着不同的处理任务。

1. SC1：氨水与双氧水混合液

SC1 通常也称为 APM，主要由氨水、双氧水和水组成，常用于晶圆清洗工艺。其配比和使用条件会影响清洗效果，因此生产过程中需要关注药液组成及浓度变化。

2. SC2：盐酸与双氧水混合液

SC2 通常也称为 HPM，主要由盐酸、双氧水和水组成，常用于半导体清洗工艺中的金属离子去除等处理环节。

由于药液成分和工艺条件不同，SC2 的浓度管理需要结合具体配方和生产要求进行。

3. SPM：硫酸与双氧水混合液

SPM 是硫酸与双氧水组成的混合液，常用于晶圆表面的有机物去除等处理工序。

SPM 的药液组成、使用状态和管理要求与 SC1、SC2 并不相同，因此不能简单地采用同一套浓度监测方案。

对于设备选型来说，首先要明确现场使用的是哪一种药液，以及需要监测其中的哪一种成分。

二、为什么半导体产线需要在线浓度监测？

传统药液浓度管理通常会结合人工取样、实验室分析等方式进行。这类方法能够提供检测结果，但从生产现场管理角度看，也存在一定局限。

首先，人工取样检测需要经历取样、送检和分析等环节，难以像在线仪表一样持续提供实时数据。

其次，当药液浓度出现变化时，如果检测间隔较长，现场可能无法及时掌握变化趋势。

对于连续运行的半导体生产线而言，在线浓度监测可以让工艺人员更及时地了解药液状态，为药液补充、浓度调整和工艺管理提供参考。

需要注意的是，在线浓度计并不能代替所有实验室分析。实际应用中，仍然需要根据工艺要求建立相应的校准、比对和维护机制。

三、在线浓度计选型，不能只看药液名称

SC1、SC2、SPM 虽然都是半导体工艺中常见的药液，但不同产线的实际使用条件可能存在差异。

在选择在线浓度计之前，建议重点确认以下几个方面。

1. 确认药液的具体组成

需要明确药液中包含哪些成分，以及现场需要监测的是哪一种或哪几种成分。

例如，SC1 涉及氨水和双氧水，SPM 涉及硫酸和双氧水。不同测量对象对应的检测条件并不大相同。

2. 确认实际浓度范围

设备需要覆盖现场实际使用的浓度范围，而不是只根据药液名称判断是否适用。

如果生产过程中存在不同配方或浓度切换，也应提前向设备供应商说明。

3. 确认测量原理

不同类型的浓度计采用的测量原理可能不同。选型时需要了解设备的检测方式，以及该原理是否适合目标药液。

例如，近红外透射分光方式利用光学测量原理获取液体成分信息，但对于光无法有效透过的浑浊或不透明药液，需要特别确认适用性。

4. 确认现场安装条件

在线设备通常需要与现有药液管路和生产系统配合。安装空间、取样方式、管路材质、压力和温度等条件，都可能影响设备导入。

如果属于既有设备替换，还需要确认原设备的安装位置和现有配管能否满足新设备的要求。

5. 确认数据输出与维护要求

对于需要接入 PLC 或上位控制系统的生产线，还需要确认信号输出、报警逻辑以及数据采集方式。

此外，校准周期、日常维护和耗材更换等问题，也应在导入前进行沟通。

四、KURABO ChemicAlyzer Pro2+ 能用于哪些场景？

KURABO ChemicAlyzer 系列是面向液体成分浓度测量的在线仪器，采用光吸收原理进行连续测量。

其中，ChemicAlyzer Pro2+（KIS-P 系列）属于在线标准型浓度计。KURABO 资料将其定位为适合既有设备替换及现有设备加装的型号。

对于半导体生产现场，如果需要对现有药液浓度监测设备进行更新，或者希望增加在线浓度监测环节，可以将 Pro2+ 纳入候选设备进行评估。

KURABO 药液应用资料列出了 SC1（APM）、SC2（HPM）、SPM 等半导体相关药液类别。不过，具体到 Pro2+ 的实际配置，仍然需要根据药液组成、目标测量成分、浓度范围及现场条件确认，不能仅凭药液名称判断是否可以直接使用。

对于正在考虑替换 HORIBA 等既有浓度计的用户，也建议提前提供原设备型号、药液信息和现场安装条件，以便进一步评估替换可行性。

五、设备选型前，建议准备哪些资料？

如果企业正在规划半导体药液在线浓度监测设备，可以提前整理以下信息：

• 药液名称：SC1、SC2、SPM 或其他药液

• 药液具体组成及配比

• 需要监测的目标成分

• 实际使用浓度范围

• 现场温度、压力及管路条件

• 现有浓度计品牌和型号（如有）

• 是否需要接入 PLC 或上位控制系统

• 设备安装空间及计划导入时间

这些信息越完整，越有利于供应商判断设备适用性，也能减少后续反复确认的时间。

六、上海岩濑：KURABO 在线浓度计咨询与选型

上海岩濑国际贸易有限公司面向半导体相关企业提供 KURABO 浓度计产品咨询与选型沟通。

针对 SC1、SC2、SPM 等半导体药液的在线浓度监测需求，以及既有浓度计更新和替换项目，可结合现场药液组成、测量范围和安装条件，对 KURABO ChemicAlyzer Pro2+ 进行适用性评估。

如果正在寻找 KURABO ChemicAlyzer Pro2+ 浓度计，或有半导体药液在线浓度监测、HORIBA 浓度计替换方面的需求，欢迎联系上海岩濑国际贸易有限公司进行技术沟通。

上海岩濑国际贸易有限公司

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