MRM SAP9-10-S71716 高纯耐腐蚀内螺纹气动隔膜阀介绍

SAP9-10-S71716 是 MRM SAP 系列的二通式内螺纹气动隔膜阀，专为高纯、强腐蚀流体管路设计，以全氟树脂接液、紧凑型内螺纹连接、长寿命隔膜为核心，适配半导体、医药、精细化工等严苛工况的流体精确控制。

一、结构设计与材质配置

阀体接液部位采用PTFE（聚四氟乙烯） 材质，耐酸碱、有机溶剂及高纯药液腐蚀，无析出、无污染，满足洁净管路要求。阀体外框为不锈钢材质，兼顾结构强度与抗环境腐蚀能力。

• 隔膜：采用多层复合 PTFE 隔膜，弹性优异、耐疲劳，往复启闭寿命长，密封面贴合紧密，降低渗漏风险。

• 流道：直通式设计，内壁光滑，不易积留杂质，适配高纯介质与洁净流体输送。

• 连接：内螺纹接口（Female 螺纹），无需过渡接头，直接匹配标准管路，安装紧凑、抗振动，避免长期使用松动。

• 驱动：单作用气动执行机构，结构简洁，模块化设计便于维护与更换配件。

二、工作原理与操作特性

采用气源驱动常闭结构（可定制常开），接入 0.4–0.6MPa 标准压缩空气时，执行机构推动隔膜上移，阀门开启；切断气压后，隔膜弹性复位，阀门关闭，实现管路通断控制。

• 控制：适配远程气动自动化系统，响应迅速，启闭平稳，适合间断启停工艺。

• 密封：隔膜将介质与执行机构隔离，杜绝介质污染与部件腐蚀，零外漏风险。

• 抗污：流道无滞留区，可耐受含微量颗粒的腐蚀性介质，适配 CIP 清洗与药液循环场景。

• 温度：介质适用温度 - 10℃~120℃，可应对多数工业制程温度波动。

三、工况适配说明

阀门公称通径 10mm，适配低压至中压工况，工作压力 0.5MPa（兼容 0.3–0.6MPa），大气温度 0℃~40℃，满足常规工业环境使用。适用介质包括高纯去离子水、蚀刻液、电镀液、制药纯化水、各类酸碱溶液及有机溶剂等，尤其适合小口径、高洁净、强腐蚀流体的精确截控。

四、适用行业场景

• 半导体：晶圆清洗设备、化学品输送管线、超纯水分配回路。

• 医药：注射用水、无菌药液输送、原料药投料及 CIP 清洗系统。

• 精细化工：腐蚀性溶剂管控、小批量药液循环、反应釜进料 / 排料管线。

• 光伏：硅片清洗、制绒 / 蚀刻药液输送、高纯水处理系统。

• 电子：电路板清洗、化学品供给、超纯水终端控制。

五、安装与维护要点

安装前清理管路，避免硬质颗粒划伤隔膜密封面。

内螺纹连接时均匀拧紧，防止局部应力导致渗漏，可水平或垂直安装。

气动气源需清洁干燥，过滤杂质与水分，避免影响执行机构动作。

定期巡检阀体有无外漏，高频使用工况建议每 3–6 个月检查隔膜磨损状态，及时更换。

严禁超温超压运行，避免接触强氧化性介质，延长阀门使用寿命。